[과학기술정보통신부] 민간 운영 노하우·유휴장비 공공나노팹에 접목… 반도체 연구지원 강화

민간 반도체 생산현장의 운영·관리 노하우와 유휴장비가 공공 연구인프라에 접목된다. 과학기술정보통신부는 11월 11일 수원 한국나노기술원에서 공공나노팹 운영 효율화 컨설팅 성과를 공유하고 모아팹 중고장비 이전식을 진행한다고 밝혔다.

이번 조치는 2025년 3월 과기정통부와 삼성전자·SK하이닉스·DB하이텍 등 반도체 3사가 체결한 업무협약의 후속 사업이다. 삼성전자는 올해 6월부터 10월까지 한국나노기술원에 반도체 팹 운영·관리 컨설팅을 수행했다.

공공 연구시설에 맞춘 운영체계 정비

• 관리기준 반영 : 컨설팅 결과를 장비별 표준작업절차서(SOP), 점검표, 교육·운영 기준에 반영했다.

• 현장점검 매뉴얼 : 민간 양산현장의 관리기법을 공공나노팹 특성에 맞게 개발·적용해 팹 안전과 설비 상태를 상시 점검하도록 했다.

• 측정장비 이전 : 삼성전자의 자동 패턴 박막 측정 장비를 한국나노기술원으로 이전한다. 8인치 웨이퍼의 단층·다층 박막 두께와 광학상수를 비파괴 방식으로 정밀 측정하는 장비다.

연구개발·기업 기술지원과 인력양성에 활용

한국나노기술원은 이전받은 장비를 기업과 대학·연구소의 연구개발 및 기술지원에 활용하고, 기존 팹 서비스와 전문인력 양성 프로그램에 연계해 운영할 계획이다. 모아팹 중고장비 활용 지원사업은 기업 유휴장비를 공공나노팹으로 이전하고 이전·구축비를 지원하는 사업이다.

과기정통부는 컨설팅 결과와 현장점검 매뉴얼을 모아팹 참여기관 전반에 공유하고, 한국전자통신연구원 특화반도체기술센터와 서울대 반도체공동연구소, 대구경북과학기술원 차세대센서·반도체연구소 등으로 협력모델을 순차 확대할 예정이다.

문의는 과기정통부 원천기술과(044-202-4541) 또는 국가나노인프라협의체(042-862-9121)로 하면 된다.